oht系统

晶圆制造厂物流升级与OHT系统建设要点

在半导体制造中，晶圆厂处于前道，生产规模大，对生产效率、精度和稳定性的要求极高。近年来，空中走行式天车系统（OHT）已逐渐成为现代晶圆制造厂的标配。本文对晶圆厂的物流升级需求、OHT软硬件系统构成及主要功能、物流系统项目落地难点与要点，以及核心技术创新发展趋势